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廣州潽拓光電科技有限公司——普發(fā)分子泵哪里有修真空泵的

單級(jí)雙吸泵真空泵和普通的水泵作用一樣，其特點(diǎn)是把旋轉(zhuǎn)水環(huán)當(dāng)做活塞來(lái)改變泵腔的容積，以達(dá)到吸氣、壓縮和排氣的目的。它的零部件包括轉(zhuǎn)子葉輪、泵殼、端板、閥片、軸承、進(jìn)排氣口、進(jìn)口單向閥、軸端密封等。通常情況下，軸端是密封的，是利用帶水封環(huán)的填料進(jìn)行密封處理的，其中密封水是通過(guò)端板上的孔道導(dǎo)入導(dǎo)水封環(huán)位置的。哪里有修真空泵的

PFEIFFER TMH071 P渦輪分子泵大量用于PFEIFFER、Agilent（VARIAN）、 Ulvac、INFICON、VST、ABI、SHIMADZU等分析設(shè)備及氦檢儀中分析儀器如氦質(zhì)譜檢漏儀，及小型分子泵組中。德國(guó)普發(fā)PFEIFFER TMH071 P分子泵進(jìn)氣法蘭口DN63 ISO-KF/DN63 CF-F，出氣法蘭口DN16ISO-KF，抽速可達(dá)到60L/s, 轉(zhuǎn)速為90000rpm,極限真空＜1*10E8mBAR; 對(duì)應(yīng)的控制器為PFEIFFER TC600.

當(dāng)今，現(xiàn)代化的半導(dǎo)體行業(yè)中，越來(lái)越多地應(yīng)用渦輪分子泵。如濺射、刻蝕、蒸發(fā)、注入、分子束外延、離子加工等設(shè)備都需要在真空環(huán)境下運(yùn)行。又如電子顯微鏡，表面分析儀器，殘余氣體分析儀及氦質(zhì)譜檢漏儀等也經(jīng)常使用渦輪分子泵來(lái)抽真空。此外，在宇宙模擬設(shè)備、核聚變裝置、太陽(yáng)能集熱管鍍膜生產(chǎn)線上也都改用大型渦輪分子泵或低溫泵來(lái)代替油擴(kuò)散泵系統(tǒng)，以防止油蒸汽的污染。因此，z近十幾年來(lái)，渦輪分子泵，在國(guó)內(nèi)、外都得到了顯著的改進(jìn)和發(fā)展。在渦輪分子泵的應(yīng)用日益增加干式的前級(jí)泵還沒(méi)有大量普及和應(yīng)用的情況下，有時(shí)還不得不用油封機(jī)械泵來(lái)作渦輪分子泵的前級(jí)泵。因此，針對(duì)這種現(xiàn)狀，對(duì)渦輪分子泵的合理選用和正確操作是很重要的。

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視頻作者：廣州潽拓光電科技有限公司

廣州潽拓光電科技有限公司——普發(fā)分子泵 隔膜真空泵保養(yǎng)中心

Pfeifer Duoline旋片泵蓋了中低真空范圍(zui高為10-3 hPa)的所有應(yīng)用。即使對(duì)于像干燥工藝、冶金工藝或樹(shù)脂究注系統(tǒng)等要求苛刻的工業(yè)應(yīng)用,這些泵也能提供可靠的操作一作為單獨(dú)的泵，或者在我們的羅茨泵組或渦輪分子泵組中作為前級(jí)泵。得益于其創(chuàng)新性的驅(qū)動(dòng)器概念，這些泵都被密封，使得它們清潔且與環(huán)境兼容。由于磁耦合旋片泵沒(méi)有徑向軸密封件，所以不存在油泄漏. 隔膜真空泵保養(yǎng)中心

真空泵維修：

真空泵全拆修叫做大修，對(duì)采取了局部拆修措施而未能排除故障的一些真空泵，其真空度仍低、仍有滲漏等現(xiàn)象；或者有些泵有下述現(xiàn)象之一者:

如泵發(fā)生“卡死”現(xiàn)象，油很臟而且泵內(nèi)已結(jié)了垢，生了銹或用了不適當(dāng)?shù)挠褪箼C(jī)械泵內(nèi)部零部件上結(jié)了硬殼（硅汕進(jìn)入機(jī)械泵內(nèi)，就可能產(chǎn)生這種情形），旋片有較大的撞擊聲，泵腔內(nèi)落入異物（金屬屑、玻璃屑、銅屑等）劃傷泵腔，摩擦發(fā)熱溫升很厲害（超過(guò)70℃）等，均需將真空泵全拆開(kāi)進(jìn)行清洗修理。

根據(jù)使用的范圍和抽氣效能可將真空泵分為三類(lèi)：

(1)一般水泵，壓強(qiáng)可達(dá)到1.333~100kPa(10~760mmHg)為'粗'真空。

(2)油泵，壓強(qiáng)可達(dá)0.133~133.3Pa(0.001~1mmHg)為'次高'真空。

(3)擴(kuò)散泵，壓強(qiáng)可達(dá)0.133Pa以下，(10-3mmHg)為'高'真空。

若要較低的壓力，那就要用到油泵了，好的油泵能抽到133.3Pa(1mmHg)以下。

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潽拓維修/維修/保養(yǎng)/銷(xiāo)售Pfeiffer普發(fā)SplitFlow系列：

Splitflow80、Splitflow270、SplitFlow310-3P、 OnTool Booster 150等

三、進(jìn)出口法蘭、冷卻水安裝

1、泵入口：對(duì)正附件、對(duì)稱擰緊

2、泵出口：防止錯(cuò)位

3、冷卻水：無(wú)漏水

四、電纜安裝

1.對(duì)正槽口插入

2、用螺母擰緊，邊插邊擰

3、檢查到位

牽引分子泵的泵腔內(nèi)含有可自由旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子，并且轉(zhuǎn)子的四周帶有溝槽同時(shí)用擋板隔開(kāi)。每一個(gè)溝槽的作用就相當(dāng)于一個(gè)單級(jí)分子泵，后一級(jí)的入口與前一級(jí)的出口相連。轉(zhuǎn)子與泵殼之間有0.01mm的間隙，氣體分子由入口進(jìn)入泵腔，被轉(zhuǎn)子攜帶到出口側(cè)，經(jīng)排氣管道由前級(jí)泵抽走。

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